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Micro-Epsilon Messtechnik GmbH & Co. KG
Micro-Epsilon erweitert die konfokal-chromatische Messtechnik für anspruchsvolle Hochtemperatur-, Vakuum- und Reinraumanwendungen: Die neuen Hochtemperatursensoren EFS 2407HT VAC messen Abstand und Dicke berührungslos und dauerhaft bis 200 °C – bei hoher Genauigkeit und Signalstabilität. Dank klebstofffreiem, passivem Aufbau sind sie UHV-tauglich (minimales Ausgasen) und geben keine Wärmestrahlung ab; der robuste Edelstahlkörper sowie Varianten mit axialem oder 90°-Strahlengang und Messbereichen von 0,8/2/4 mm erleichtern die Integration auch bei wenig Bauraum. Die Sensoren liefern Nanometerauflösung, sehr kleinen Lichtpunkt (bis 11 µm) und eignen sich für spiegelnde, diffuse und transparente Oberflächen sowie Dickenmessungen; sie sind mit IFC-Controllern kompatibel und ermöglichen bis zu 30 kHz Messrate zur schnellen Prozessüberwachung. Neu sind zudem kompakte Zweikanal-Controller (IFC2412/IFC2417) für synchrone Messungen und zweiseitige Dickenmessung mit Webinterface und Materialdatenbank; für OEM/Serie gibt es den kleinen Hutschienen-Controller IFC2012 (100 Hz–8 kHz), und für Highspeed-Anwendungen den IFC2017 mit bis zu 25 kHz sowie Multi-Peak-Option für Mehrschichtmessungen (bis 5 Schichten).
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